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951. 中芯国际与中科院微电子所签订MEMS研发代工平台合作协议
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952. 基于C-MEMS的微纳结构的制备及其超级电容特性的研究
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953. WiFi与MEMS-IMU融合定位方法在室内定位中的应用
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954. 太赫兹体硅MEMS准对角喇叭天线及AIP系统虚拟仿真设计平台技术
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955. 介电层粗糙对电容式RF MEMS开关down态电容退化的影响
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956. MEMS多域耦合非线性宏建模的轨迹分段线性化方法研究
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957. MEMS自动气象站远程数据处理、控制与可视化监测系统软件设计
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958. 基于窄带水平集和蒙特卡洛方法的MEMS微加工工艺的三维仿真
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959. 基于聚酰亚胺和硅基底的微型热式MEMS流量传感器研究
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960. 利用MEMS惯性冲击器进行安全壳内气溶胶过滤的机理研究
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