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981. 基于ARM的低成本MEMS-SINS/GPS组合导航系统设计与实现
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982. 流体迁移性质分子动力学研究及基于MEMS传感器黏/密度实验系统研制
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983. 硅纤毛/纳米膜一体化集成的MEMS矢量水听器结构设计与工艺制备
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984. 一种联合调制反馈和温度补偿改善闭环MEMS电容式加速度计漂移的方法（英文）
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985. 基于MEMS传感器与Zigbee网络的人体手臂运动状态测量和识别方法研究
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986. 阈值去噪与RBF神经网络在MEMS陀螺仪误差补偿中的应用
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987. 带非局部非线性项的四阶抛物型MEMS方程的适定性研究
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988. 基于高介电常数薄膜的MEMS静电式超级电容器制备及电学特性研究
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989. MEMS加速度传感器在矿用随钻轨迹测量系统中的误差校正
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990. 应用于外腔可调谐半导体激光器的MEMS静电驱动设计与仿真
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