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981. 硅基MEMS压电式振动能量采集器设计制造及其性能研究
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982. 基于MEMS传感器的无线网络地震传感器的设计
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983. 基于MEMS的列车舒适度、平稳性无线传感器设计
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984. 基于MEMS的可重构天线及多频天线的关键技术研究
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985. 一种基于MEMS的新型镂空压电悬臂梁能量采集器
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986. 可重构MEMS微波功率耦合器的设计及其可靠性研究
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987. 基于MEMS传感器的挖掘机姿态检测系统的研究
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988. 基于变面积电容传感的大量程MEMS加速度计加工工艺研究
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989. PZT薄膜的溶胶凝胶法制备及在MEMS中的应用研究
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990. MEMS微半球谐振陀螺的力反馈模态及其FPGA平台实现
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