纳米颗粒的粒径测量方法

发布时间：2017-12-10 14:16

  本文关键词：纳米颗粒的粒径测量方法

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【摘要】：为了实现扫描电子显微镜(SEM)对纳米颗粒粒径的准确测量,研究了一种SEM放大倍数校准和光栅间距测量的方法;在SEM的不同放大倍数下对光栅纳米结构样板成像,运用MATLAB软件对显微镜图像进行灰度处理并读取灰度图像的亮度值数据,通过确定顶线、基线、底线位置,有效消除成像质量及数据处理等的误差,准确确定质心横坐标,采用质心算法求取平均光栅间距,通过与光栅间距标称值比较计算校准系数和校准误差;为验证放大倍率校准结果的可靠性,对纳米颗粒粒度标准物质进行测量。实际测量的平均粒径与标准值一致,表明该校准方法准确可靠,可有效避免图像质量和人为因素对测量结果的影响,达到对纳米和亚微米颗粒粒径准确测量的目的。
【作者单位】： 中国石油大学(北京)化学工程学院;中国计量科学研究院纳米新材料计量研究所;
【基金】：国家科技支撑计划项目,编号:2011BAK15B05
【分类号】：TN16;TB383.1
【正文快照】： 扫描电子显微镜(SEM)是对纳米亚微米尺度进行表征和准确测量的重要分析仪器,因其制备样品过程简单、可拍摄高分辨率的图像、可调节放大倍数范围宽、景深大等优点,而被普遍应用于化工、医药、生物、冶金、材料、半导体制造等研究领域和工业部门[1]。扫描电子显微镜利用扫描成像

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本文编号：1274769