电子束气相沉积的研究进展

发布时间：2025-05-12 22:52

　　 介绍了电子束真空气相沉积(EBPVD)镀膜技术的优点、国内外发展现状,并对其关键技术:材料的高速电子束蒸发过程在真空和工艺参数控制下的物质的沉积、成分和组织结构的控制等方面进行了分析。简要论述了其硬件条件,以便为钢钛复合材料的制备提供解决思路。

【文章页数】：6 页

【部分图文】：

图1　硫化锡晶体结构示意图

从而构成一个高度扭曲的八面体结构。在每个层内,原子通过共价键结合,层与层之间则由范德华力结合。结构如图1所示,表1列出了基本的物理性能及光电参数。表1　硫化锡的基本性能参数Table1　ThebasicpropertiesoftinsulfideProperties....

图1 电子枪的结构原理

与合金相似,纯金属以单个原子的形式蒸发。然而,对于大多数合金而言,液态合金上面的气相组成并不等于合金的平均成分。合金会发生分馏,这导致冷凝在基体表面的凝析层会含有最多的挥发组分。采用不同的蒸发方法,可得到厚度均匀的多组分金属材料的混合物[7]。3.2.1成分控制

图2 电子束镀合金膜原理

化合物的蒸发(如氧化物、碳化物和硼化物等)通常伴随有初始分子种类的变化。许多难熔化合物的特征是与初始分子解离,生成气态产物。例如在蒸发过程中形成氧、铝、醛等。只有在解离产物的挥发性基本相同的情况下,才有可能从一个来源直接蒸发得到不改变化合物初始组成的蒸发冷凝产品。难熔氧化物如(A....

图3 结构分区示意

电子射束蒸发的纯金属和耐火材料氧化物、碳化物、硼化物类型的化合物以及随后的水蒸气凝结衬底在较宽的温度范围内Ts,导致形成三个有特色的构造带与极限温度T1和T2[9]。图3给出了结构分区的示意,具体取决于相应的温度Ts/Tm。其中,Tm为熔化温度(K)。通过对上述区域热激活过程活化....

本文编号：4045348