基于BSO算法的SiO 2 沉积速率控制

发布时间：2025-07-09 02:56

　　 为了提高SiO₂薄膜质量,将晶振膜厚控制仪用于沉积速率采集,采用闭环反馈控制电子枪灯丝两端电压,利用Ziegler-Nichols整定经验法确定PID参数范围,并通过天牛须搜索-粒子群算法（BSO）实现参数自整定,从而改变电子束束流大小,实现薄膜沉积速率的稳定控制;实验结果表明,在本控制系统下,沉积速率在4 s左右建立稳态且波形无明显振荡,相比于遗传算法,BSO算法全局搜索能力更强,该方法可用于电子束蒸发镀膜过程中不同靶材沉积速率的控制,可进一步提高薄膜表面均匀性。

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【文章目录】：
1 沉积速率控制系统
    1.1 沉积速率控制系统组成
    1.2 沉积速率控制系统模型
2 基于BSO的PID算法
    2.1 BSO算法原理
    2.2 基于BSO的PID参数整定
3 实验仿真
4 总结



本文编号：4057035