ArF准分子激光器温度控制系统设计与实现

发布时间：2025-06-20 00:54

　　ArF准分子激光器被广泛应用于科研、医疗和工业领域,其激光性能与放电腔温度密切相关。为了实现温度控制的高精度和高稳定性,本文重点研究温度控制系统的结构及其算法,设计了一套温度控制系统。本文的主要研究工作和结论如下:根据ArF准分子激光器应用场景提出了温度控制系统需求,设计了三种温度控制方案。从控制精度、经济性、集成度和人机交互性四个方面对比了三种方案的优缺点,最终采用通过工控机控制比例阀调节流量以实现温度控制需求的方案。从结构、电气和软件三个方面对温度控制系统进行详细设计,建立配水单元三维模型,设计电气原理图,编写温度控制软件。由于供水系统的压力存在波动,需要抑制其压力波动对温度控制精度的干扰。基于单回路PID控制,设计了串级PID控制,从理论上证明了供水压力波动干扰时,串级控制较单回路控制抗干扰能力强的结论。设计了单回路温度控制PID、串级控制中的主PID和副PID三个增量式PID控制器。辨识了比例阀的传递函数,整定流量控制PID参数,并使用Simulink进行了流量控制仿真。为了避免流量控制出现积分饱和问题,设计了积分分离和幅值限定两种抗积分饱和方法。最后,搭建温度控制实验平台,验证...

【文章页数】：86 页

【学位级别】：硕士

【部分图文】：

图1-1准分子激光器输出功率与温度变化关系

照[9]如表1-1所示。表1-1光刻机对ArF准分子激光器提出的特性要求光刻机的特性ArF准分子激光器对应的特高分辨力窄线宽、短波长高效率高重复率、高功率高CD控制高能量稳定性、高波长稳定低成本长寿命、高脉冲宽度的功率、能量稳定性和工作气体寿命与放电腔....

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本文编号：4051179