CMOS兼容的中红外多通道光子晶体传感器（英文）

发布时间：2025-05-07 01:16

　　 提出了一种基于光子晶体的二维多通道光学化学传感器。该器件由中心波长为3.3μm的四个腔组成,各通道工作波长间隔为10 nm。该传感器采用800 nm厚的绝缘体上硅材料,可利用标准CMOS技术加工。通过三维时差有限差分法对微腔结构的光学特性进行模拟。每个通道的传输效率为39%,通道之间的传输效率不一致性小于0.25dB。该传感器的功能为检测四氯化碳和苯溶液浓度,其灵敏度为209.2 nm/RIU。

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【部分图文】：

图２光子晶体能带图??

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图１多通道片上传感器的结构示意图??

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图３未优化的弯曲波导（ａ）和优化后的弯曲波导（ｂ）的能量分??

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图４原始腔（ａ）和苯注人腔（ｂ）的能量分布??１??＿０．??

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本文编号：4043379