不均匀电场SF 6 /CF 4 混合气体的光谱实验研究

发布时间：2025-05-07 05:24

　　 文中通过对SF₆/CF₄混合气体在针板电极电场条件下,采用光谱测量法分析SF₆气体含量为20%⁸0%、压强为0.1～0.3 MPa及电极间距在4～10 mm下的气体击穿等离子体导电通道的发射光谱。利用多谱线斜率法及Stark展宽法计算SF₆/CF₄混合气体完全击穿的等离子体通道中电子温度、电子数密度等参数,建立等离子体导电通道的电子温度、电子数密度与气体压强、电极间距的关系。研究表明:当电极间距为4 mm时,随着混合气体压强的升高等离子体电子温度下降、电子数密度上升,ρSF₆为80%时等离子体通道的电子温度由0.1 MPa时的3.72×104 K下降到0.3 MPa时的1.99×104 K,电子数密度由2.61×1017 m-3增大到5.72×1017 m-3;0.1 MPa下电极间距在4 mm时等离子体通道中电子温度随SF₆气体含量的升高而上升,电子数密度呈下降趋势;电极间距在4～10 mm时,ρSF_...

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【文章目录】：
0 引言
1 光谱测量回路与方法
    1.1 光谱测量回路
    1.2 光谱测量实验方案
2 击穿光谱采集与分析
    2.1 光谱测量原理
    2.2 电子温度的计算与分析
    2.3 电子密度的计算与分析
3 结论



本文编号：4043667